b、ISO-F真空接头通常由法兰(flang)、密封圈(O-Ring)、中心定位环 (centering ring) 组成

　　CF法兰的英文名是Conflat Flang。它是一种用于超高真空中的法兰连接，是一种金属静密封，可承受高温烘烤。

　　公称直径尺寸包括：DN16, 40, 63, 100, 160, 200，250

　　适用的真空度最高达10^-12 mbar

　　法兰密封材料通常为Viton、PTFE、无氧铜等，法兰通常为304、316不锈钢等，具体见下图所示：

　　常用CF法兰的型号和尺寸表

　　CF法兰的内侧有凸起的锋利刀口，通过挤压无氧铜垫圈(或其他软金属)使其变形而达到密封真空的目的，是全金属材料的密封方式，被广泛应用于超高真空系统中。CF法兰也常用ICF法兰来表示，CF后面的数字是标准的导管内径，而ICF后面的数字是法兰的外径。常用CF法兰的型号和尺寸见表1。

　　CF法兰分为固定型和松套型两种。固定型法兰为一体化结构。松套型法兰由挤压铜垫圈的刀口部分和通过螺栓的固定部分构成。法兰上可开通孔或螺纹孔。开有通孔的法兰要通过螺栓和螺母固定;开有螺纹孔的法兰可直接使用螺栓固定。法兰的材质主要为 SUS304(或 SUS304L)，因为SUS304放出气体少，加工和焊接比较容易。

　　表1 常用CF法兰的型号和尺寸

　　

　　注：n×d中n为孔的个数，d为孔径(mm)。

　　CF法兰的特点是不分雌雄，包括无氧铜垫圈在内全部由金属构成，因此可以承受高温(250℃以上)烘烤。其缺点是价格高，无氧铜垫圈不能多次重复使用。

　　CF法兰的安装

　　CF法兰的安装要求较高。因为无氧铜垫圈被挤压后会变形，所以用均等力量扭紧螺栓非常重要。如果螺栓用力不均匀，会使对角位置的法兰翘起，以至于漏气。扭紧螺栓的力矩大约如下：M4螺栓20kgf·cm，M6螺栓70kgf·cm，M8螺栓100kgf·cm。

　　CF法兰使用注意事项

　　CF法兰使用时有几个注意点：螺栓一定要涂抹 MoS2，以免螺栓和螺母咬合卡死;法兰外周要对齐;法兰面要保持一点距离，为烘烤后继续上紧螺栓留出余地。

　　CF法兰中，刀口要切入金属密封圈来实现真空密封。长期使用，刀口会逐渐变钝。另外，受硬器碰撞后刀口容易受伤。这时的补救措施之一，是使用IPD金属密封圈。IPD金属密封圈不依靠法兰的刀口，而依靠刀口外周的斜面来密封。

　　ISO-KF

　　ISO-KF是应用在真空系统中的一种快卸法兰。他由以下几个元件构成：两个成对称分布的KF法兰、O-Ring、定心支架、卡箍。勿需使用别的工具，只要简单地用手拧动碟形螺母就可以松开或压紧联接。

　　ISO-KF真空接头是小尺寸的快装法兰接头.公称直径尺寸包括：DN 10, 16, 25, 40， 50。

　　制造标准包括：DIN 28403，ISO 2861

　　适用的真空度最高达10-8 mbar。

　　法兰密封材料通常为Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、铝等

　　法兰通常为304、316不锈钢等

　　ISO-KF 真空接头通常由法兰(flang)、快夹(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位环 (centering ring) 组成，见下图。

　　

　　1—CF/NW 转接法兰；2—卡箍；3—中心支架；4—O形橡胶圈；5—NW 转接法兰

　　小口径管路用橡胶圈密封真空法兰，被称为NW(或KF)法兰，广泛用于低、中和高真空系统中。其特点是可多次重复使用、操作简单、经济实惠。但是，NW 法兰有两个大的问题点：一个是在设备烘烤时耐热程度有限；另一个是氢气、氦气的透气问题。

　　使用NW 法兰时，两个 NW 法兰中间安装有外套O形橡胶圈的中心支架，外侧通过卡箍可简单实现快速的安装和拆卸(图1)。使用氟橡胶圈的时候，烘烤温度一般可达150℃。

　　NW盲板法兰的主要型号和尺寸

　　

　　ISO法兰和配管可用于从大气压到高真空，经常装拆的各种应用中。一般管子的直径超过50mm(2英寸)。如果使用氟橡胶O形圈，可以承受150℃烘烤。

　　ISO法兰常用的两种形式是ISO-K和ISO-F

　　ISO-K和ISO-F真空接头是大尺寸的真空接头，公称直径尺寸包括：DN 63, 100, 160, 200, 250, 320, 400, 500 和630

　　制造标准包括：DIN 28404 ，ISO 1609

　　可应用在要求真空度高达10-8 mbar的场合。

　　法兰密封材料通常为Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、铝丝等

　　法兰通常为304、316不锈钢等

　　a、ISO-K真空接头通常由法兰(flang)、法兰爪(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位环 (centering ring) 组成，见下图。

　　b、ISO-F真空接头通常由法兰(flang)、密封圈(O-Ring)、中心定位环 (centering ring) 组成，与ISO-K不同的地方是法兰用螺栓坚固。见下图。

　　

　　ISO法兰是口径范围大的O形橡胶圈密封真空法兰，其主要型号和尺寸见表1。

　　表1 ISO法兰的主要型号和尺寸

　　

　　

　　

　　注：n×d中n为孔的个数，d为孔径(mm)